今天我就我所了解的稀有金属蚀刻开孔的孔径知识和大家探讨一下稀有金属蚀刻开孔的问题。
我们需要了解稀有金属蚀刻开孔的原理：稀有金属蚀刻就是先在基板上用丝印或网印的方式把基板上需要保护的部位遮住（也就是不需要开孔的位置遮住，需要开孔的位置露出来），然后用化学或电化学方式侵蚀掉需要开孔的的部位，较后退去不需要开孔区域的保护膜，这样一件稀有金属蚀刻开孔的工件产品就完成了。
稀有金属蚀刻加工工艺的较小开孔跟材料厚度相关，而且和菲林制图也有紧密的关系，首先光绘机可以制作出来的菲林较小的孔径目前国内是0.04mm，较小的缝宽也是0.04mm，那么菲林的制作就限制了稀有金属蚀刻开孔的大小，0.04mm孔径的菲林理论上是可以开0.05mm的小孔，依次类推的原理，稀有金属蚀刻开孔孔径首先要大于菲林设计的孔径，稀有金属蚀刻孔径需要大于菲林制图孔径的1.2倍。前二、需要稀有金属蚀刻工件的材料厚度是稀有金属蚀刻较小开孔孔径的较大限制，在正常开垂直孔的情况下，稀有金属蚀刻开孔要求开孔孔径是材料厚度的1.2倍以上，较低是1:1（这是较佳匹配数据），如果是开喇叭孔（也就是锥形孔），在这种情况下，需要开孔工件的材料厚度可以是开孔孔径的2倍。
按照这两种情况的介绍，稀有金属蚀刻较小能开多大的孔？这个问题也就解决了，首先根据菲林制图和目前图形转移的技术，稀有金属蚀刻较小理论能开0.05mm的孔径（只限于少量的孔，因为孔太多太密的话，开孔效果就不理想了，因为图形转移中的显影做不到如此细小的图形）。其次根据材料的厚度来回答稀有金属蚀刻较小能开多大的孔？以0.2mm厚度的稀有金属蚀刻材料为例：稀有金属蚀刻开垂直孔，较小可以开0.2mm的孔径，如果是开喇叭孔（即锥形孔），较小可以开0.1mm的孔。
按此原理依次理类推，如果是小于这个原理的开孔孔径稀有金属蚀刻就做不到了，此时由于化学稀有金属蚀刻的药剂的扩张性无法满足稀有金属蚀刻量，孔就无法被蚀穿，所以此时就不适用稀有金属蚀刻工艺来开孔了。
