水洗在蚀刻加工的整个工艺流程中是采用最多的一个步骤，每经过一次处理其后都要进行水洗。水洗的目的是要洗掉从碱性或酸性溶液中取出的工件表面所付着的碱性或酸性膜取而代之清洁的水膜，从而成为清洁的表面，工件从一个工序转移到下一个工序时，不至于将上一工序的溶液带到下一工序的溶液中。所以，水洗在蚀刻加工的全过程中是左右其产品质量的重要过程。

    水洗从工艺布局上都是紧随其主导工作槽之后，比如化学除油后接着就是多级水洗槽，其他工序也是一样。对于一整套的蚀刻加工工艺流程是由多个化学处理过程来完成，如果在每个化学处理槽的后面都设计其各自的多级水洗槽并不太合适，会使工作场地变得很大，也会增大设备投入，甚至会使生产效率下降。在这里就可以根据实际情况，将一些水洗槽合并，也就是多个工序共用一套水洗系统。但在基本工序的工作槽外应有一个独立的水洗槽做为水洗，这样做的基本前提是可以用各自的水洗槽中的清洗水，对工作槽中溶液蒸发的不加，并且使各工作缸之间的化学成分的不同，对产品质量的影响降到低。

    水洗按其温度范围可以分为常温水清洗和热水清洗。对于清洗而言大多数都是采用常温水洗，是由于这种方法不需要加温、能耗低、使用方便，对水洗槽也无特殊要求。热水洗一般都是在60℃左右的条件下进行，热水洗对经过碱性处理过的工件清洗是很好的，热水环境有利于工件表面膜在水中的扩散而利于清洗，所以在碱性除油或蚀后首先采用热水洗、然后再用常温水洗其，清洗效果更佳。如果是经过酸性处理后，则不能先用热水洗，而应采用常温水洗再采用热水洗。热水洗对水洗槽要求有保温装置，其制作成本会比常温水洗高。

    水洗按其工件在水中的洗涤方式可分为浸泡式水洗和喷淋式水洗，在实际生产中浸泡式水洗应用的广泛，喷淋式由于其设备投入高，而较少采用。

    水洗按水的性质可分为普通水洗和去离子水洗。前者是采用经普通方法过滤的洁净水中还存在多种腐蚀性阴离子，特别是氯离子的存在会使工件表面产生水印或锈蚀等，后者是采用经过去除水中杂质离子的高纯水，这种水中不含有氯离子等有氯离子等有腐蚀性的阴离子，对于精密工件和表面要求严格的工件采用去离子水进行清洗是很有需要的，但是这种水进行清洗，这种方法对于要求严格的产品常被采用。不管对于任何要求的工件，加工完成后，在清洗过程中，不推荐采用去离子水。