从环境保护的方面及生存的需求考虑，每一个加工企业在进行工艺规划时，把避免污染、保护环境放在首位是非常重要的。从稀有蚀刻规划的方面出发，对环境保护的奉献主要从以下几个方面来考虑。
（1）溶液的组成对环境的影响。溶液的组成包含溶液的浓度及溶液的组成成分，从操控源头减量的方面出发，下降溶液的浓度是有用的办法。溶液浓度的下降既使制造成木的下降，也使带出量削减。对环境保护的奉献主要是随着溶液浓度的下降使带出量的削减，但溶液浓度的下降有必要要和实践生产进程相适应，由于过低的浓度会影响正常运用，或使处理时刻延伸过多构成生产功率下降；溶液浓度过低，溶液在运用进程中改动快，调整的频率增加，给生产带来极大的不方便，一起频繁的剖析也使发作污水的量增加（由于在调整之前对溶液要进行剖析，再依据剖析数据进行调整）。
（2）处理这些化学成分的难易程度及处理本钱。尽管环境保护是主要任务，但是从稀有蚀刻企业的意图而言是取得利益，假如一种配方中的化学成分处理本钱过高，不论其作用怎样，显着都是不适合选用的。
（3）生产进程中的操控。生产进程中的操控主要体现在对溶液的收回，而不是直接的排放。具体做法是在工作缸的附近增加一个收回缸，然后再进行水洗等后续加工。
（4）对清洗水及废液的处理。蚀刻加工中必要的废水处理设备是有必要的，不能由于本身的利益而损害环境。假如有新增加的工序，应对新增工序所用化学品发作的废液有完善的处理办法，假如现有的废水处理设备不能对其进行处理则有必要要新增相应的处理设备，确保从稀有蚀刻生产线所排放的废水要合格排放。
