在进行蚀刻工艺的设计时,首先要解决的问题是在现有条件下能做到什么样的水平,对于蚀刻来讲,这个水平主要反映在以下几个方面。
(1)蚀刻后的表面光洁度。一般情况下都要求被蚀刻后的表面光滑平整,蚀刻后的光洁度主要受材料晶粒的影响及蚀刻体系的影响。比如在铝合金蚀刻中,碱性蚀刻后表面光洁度明显要高于三氯化铁、盐酸所组成的酸性蚀刻液蚀刻后的光洁度。同时在蚀刻液中加入添加物质也能影响到金属表面的光洁度。
(2)图形的准确度。图形准确度主要反映在图文转移的精度和蚀刻精度,蚀刻精度就涉及到一个侧蚀率的问题,影响测蚀率的因素:a受材料自身及材料晶粒组织的影响,在蚀刻中,铜、钢、镍等金属材料的侧蚀率小、蚀刻精度高,铝及合金的侧蚀率大、蚀刻精度较低,同种材料如果结晶粗大显然不利于达到高精度的图文蚀刻效果;b也受蚀刻体系的影响,蚀刻体系主要是指采用什么样的蚀刻剂进行蚀刻,当然也包括在这些蚀刻剂所组成的溶液中加入的添加物质,对于蚀刻精度,添加物质的作用比蚀刻剂所采用的酸或碱影响更大;c还要受到蚀刻方式的影响,不同的蚀刻方式所产生的蚀刻速度是有很大差别的,显然使用喷淋式蚀刻将有更快的蚀刻速度,也更容易做到较高的蚀刻精度。
当知道了所能达到的蚀刻水平,这时还不能进行蚀刻工艺的设计,还得明白客户的要求,这个要求十分在所能达到的水平范围内,如果不能,能否通过工艺的合理设计来达到。如果这些都明白后,这时才可以着手进行蚀刻工艺的设计工作。