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湿式蚀刻过程的流程介绍

　　湿式蚀刻过程可分为三个步骤：

　　1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；

　　2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；

　　3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出。

　　三个步骤中进行最慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

　　大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。

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